고저항막, ITO막, 저저항막 겸용
코팅 저항 안정성 확보
코팅 두께 균일성 확보
높은 코팅 투과율 확보
최대 가공 모델 | G5 | ||
최대 가공 치수 | 1300*1100mm | ||
도금 기술 | 방저항 | 투과율 | 막 두께 |
고저항막 | 5E+7~2E+9Ω/ | ≥97% | 130±50Å |
ITO막 | 300~2000Ω/ | ≥98% | 180±80Å |
저저항막 겸용 | 40~100Ω/ | ≥80% | 1500±200Å |